楊杰提前把沉🏍浸式光刻技讓瑞星科技公司研發(fā)出來(lái)就是為了為了解決國(guó)內(nèi)現(xiàn)階段在半導(dǎo)體技術(shù)整體不足的情況。
現(xiàn)階段瑞星科技公🌺🔉司自工件臺(tái)上的運(yùn)動(dòng)精度只能控制在4納米，制造出來(lái)的光刻機(jī)只能保證極限制程工藝維持在90納米的，而三陽(yáng)光學(xué)公司自己現(xiàn)在制造出來(lái)的鏡片光學(xué)數(shù)值孔徑只能達(dá)到🎻0.5，距離G國(guó)蔡司制造出來(lái)的鏡組0.7還是有不小的距離。
不過(guò)今年上半年機(jī)床研究院的🔥😋🚬超高精度設(shè)備研發(fā)部門(mén)會(huì)推出超高精度的數(shù)控磨🤦床，到明年初三🙏✅陽(yáng)光學(xué)公司應(yīng)該能生產(chǎn)出更高數(shù)值孔徑的鏡組出來(lái)。
瑞星科技公司在光刻機(jī)跟刻蝕機(jī)的設(shè)計(jì)跟系統(tǒng)整合方面這些年已經(jīng)逐步成熟了，這🏏📘讓楊杰➡🔴有信心在明年就可以大批量的生產(chǎn)出沉浸式光刻機(jī)出來(lái)，到時(shí)候可以大幅地降低國(guó)內(nèi)晶圓廠的建設(shè)成本。
現(xiàn)在艾斯摩爾公司、尼康、佳能公司推出的氟化氪光源的光刻機(jī)一套要賣(mài)到兩千萬(wàn)到五千萬(wàn)美金之間，一座晶圓廠至少需要3到4臺(tái)，瑞星科技公司到現(xiàn)在已經(jīng)在國(guó)內(nèi)賣(mài)出去了三十多臺(tái)，在這個(gè)上面賺了差不多5億多美金，光刻機(jī)反倒是賣(mài)得最📡🆙多，總共賣(mài)出去了六百多臺(tái)，每臺(tái)售價(jià)在一百八十萬(wàn)美金，差不多賺了十多億美🏘🥋金，現(xiàn)在國(guó)外很多公司也是向♍瑞星科技公司開(kāi)始下訂單采購(gòu)刻蝕機(jī)。
其實(shí)🚪📒從前年開(kāi)始，瑞星科技公司就開(kāi)始99下半年年就開(kāi)始🕙🏩👟實(shí)現(xiàn)了盈利，楊杰這幾年總共向瑞星科技公司投入了接近二十多億美金，現(xiàn)在終于是見(jiàn)到了成效。
現(xiàn)🕯🔝在瑞星科技公司的研發(fā)人員超過(guò)了三千多人，并且積極地跟國(guó)內(nèi)外的公司合作。
楊杰利用跟自己跟軍方良好的關(guān)系，將光刻機(jī)的10個(gè)分系統(tǒng)、數(shù)萬(wàn)📢🗽個(gè)機(jī)械件件、100多個(gè)傳感器分包給了給了國(guó)內(nèi)的上千家研究所和數(shù)百家軍工企業(yè)來(lái)完成。
瑞星科技公司則🚕⛄🚏是負(fù)責(zé)這些系統(tǒng)的整合和檢測(cè)驗(yàn)收，自己主💺🚻🌰要的精力集中在幾個(gè)核心系統(tǒng)的研發(fā)。
軍方高層對(duì)此非常重視，更關(guān)鍵的是瑞星科技公司定制的這些系統(tǒng)雖然要求極為嚴(yán)苛，但是給🍵的訂金十分豐厚，去年一年交付產(chǎn)品從瑞星科技公司拿到的款項(xiàng)🌼➖👗就達(dá)到了五十多億。
既然這么賺錢(qián)，軍方自然是十分舍得下本錢(qián)，🕵🎱🙄前年就把所有的生產(chǎn)設(shè)備全都更新了一遍，很多設(shè)備還是從機(jī)床研究院定制的，并且加🏇大了研發(fā)投入。
現(xiàn)在瑞星科技公司產(chǎn)品線分為PAS系列和XT系列，其中PAS系列光源為高壓汞燈光源，這種機(jī)型使用🤟了瑞星科技公司自己設(shè)計(jì)生產(chǎn)的鏡組，鏡頭是三陽(yáng)光學(xué)公司生產(chǎn)提供的，也采用了步進(jìn)掃描沉浸式技術(shù)，因?yàn)槭褂昧顺两郊夹g(shù)，這種波長(zhǎng)在365納米的光源原本極限制程只能達(dá)到0.25微米，但是現(xiàn)在可以提升到了120納米，而且價(jià)格只有一千美金！
現(xiàn)在市場(chǎng)上尼康、佳能、艾斯摩爾三家主力都♌🤑是以氟化氪激光光源為主，極限制程工藝在130納米，高端的機(jī)型是以氟化氬激光光源的光刻機(jī)，極限制程工藝🖱在65納米。
現(xiàn)在♌🔗瑞星科技公司氟化🌔氪激光光源光刻機(jī)極限制程工藝可以達(dá)到90納米，這還是因?yàn)楣ぜ_(tái)的進(jìn)度不夠?qū)е碌?，如果能把工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度控制在2納米，那么制程工藝可以達(dá)到70納米左右🕉💼🕶！
瑞星科技公司在掌握沉浸式光刻技術(shù)后簡(jiǎn)直像是一頭野蠻的公牛闖進(jìn)了瓷器店一般，將這個(gè)原本只有三家瓜分的🌇光刻機(jī)市場(chǎng)是攪得天翻地覆！
去年十月份瑞星科技公司推出的PAS系列🚙🛠🛡機(jī)型銷(xiāo)售情況十分好，到現(xiàn)在總共是賣(mài)出去了五十多臺(tái)，而且差不多有一大半是海外的客戶，而采⏳✌用氟化氪激光光源的XT系列也是賣(mài)出去了三臺(tái)。
倒不是瑞星科技公司😻不想賣(mài)，而是G國(guó)蔡司提供的鏡組就只有十幾套，剩下的都要留給中晶微和華🥗🏥⏬越電子公司以及華晶集團(tuán)，實(shí)在是沒(méi)貨了。
不🗝🎍🎭過(guò)P❄AS系列的機(jī)型因?yàn)楫a(chǎn)能供得上，不過(guò)瑞星科技公司現(xiàn)在產(chǎn)能也是很吃緊——人手不夠了🚜🌭💐。
在得知這個(gè)消息后，李開(kāi)元也是格外高興，“提出沉浸式光刻機(jī)技術(shù)是你提出來(lái)的方案吧，之前幾年瑞星科技公司都是不聲不響的，現(xiàn)在技術(shù)成熟后馬上就推出了先進(jìn)的產(chǎn)品，可以說(shuō)是徹底地把這個(gè)市⭕場(chǎng)格局給🕥🚬改變了，這證明科技創(chuàng)新才是最重要的。”
“是呀，現(xiàn)在瑞星科技公司掌握了光刻機(jī)的核心技術(shù)，國(guó)外對(duì)我們?cè)诎雽?dǎo)體🚴產(chǎn)業(yè)的限制是越來(lái)越少了?！瘪R秋林笑著說(shuō)道。
“比起淡馬錫⛄🕝集團(tuán)公司的來(lái)訪，這⏩🏥✴個(gè)消息意義就更為重大了。”李開(kāi)元點(diǎn)頭💻🏂道。
“這次中晶微公司收購(gòu)了特許半導(dǎo)體的兩家晶圓廠😽，還要和特許半導(dǎo)體再合資興建一座十二寸的晶圓廠，這些晶圓👴🌪🥐廠的產(chǎn)能主要是用來(lái)生產(chǎn)什么類(lèi)型的芯片？”
孫世聰問(wèn)道。
“主要是用來(lái)生產(chǎn)🐦🆖手機(jī)🎆相機(jī)需要的圖像傳感器跟控制芯片。”
楊杰也是將自己💖的計(jì)⛳🍱劃向🛂✖省里的這些領(lǐng)導(dǎo)作出了詳細(xì)的說(shuō)明。
“因?yàn)閳D像傳感器👑🎽🗨是一個(gè)用途非常廣泛的技術(shù)產(chǎn)品，我們公司把圖像傳感器當(dāng)成了今后最重要的一個(gè)核心業(yè)務(wù)，尤其是在手機(jī)相機(jī)模塊里面使用的圖像傳感器，這是以后圖像傳感器最大的一個(gè)細(xì)分市場(chǎng)之一?！?br/>
“根據(jù)我們公司對(duì)手機(jī)市場(chǎng)做出的調(diào)查，預(yù)計(jì)十年之后全球手機(jī)產(chǎn)銷(xiāo)量達(dá)到17億部，而拍照功能會(huì)成為手機(jī)最重要的功能之一🗂💽⏩，光是這么一款產(chǎn)品的對(duì)圖像傳感器的需求量就能達(dá)到十多億顆，這需要至少二十多座八英寸的晶圓廠，十二寸的晶圓廠也需要數(shù)座以上?！?br/>
“雖然說(shuō)隨著制程工藝的進(jìn)步，圖像傳感器可以做🍿💉得越來(lái)越小，不過(guò)圖像傳感器需要足夠的進(jìn)🔳🌼🍶🔔光量，芯片尺寸也不會(huì)縮小得太多，更多的是提升圖像質(zhì)量。”
楊杰說(shuō)道笑著說(shuō)道：“所以說(shuō)我收購(gòu)特許半導(dǎo)體公司的兩座晶圓廠只能說(shuō)是剛剛滿足現(xiàn)在我們公司接下來(lái)推出相機(jī)模👒🖥🤯塊的需要而已，接下來(lái)的幾年相機(jī)模塊會(huì)有一個(gè)爆發(fā)性的增長(zhǎng)，我是希望國(guó)內(nèi)能再上🎴📴👧幾座晶圓廠，盡可能地把產(chǎn)能留在國(guó)內(nèi)?！?br/>
“楊少，你們?cè)趫D像傳感器上這幾年下🗃🚚了非常大的功夫呀！”馬秋林感慨地說(shuō)道。
“我們還是要加大研發(fā)力度，MI國(guó)有30多家公司進(jìn)行這方面的研發(fā)，歐洲也有7家公司，RI國(guó)方面也有8家，臺(tái)灣也有8家，南韓也有1家，國(guó)內(nèi)現(xiàn)在只有我們?nèi)A興集團(tuán)公司，這😹🔧些公司在圖像傳🍰感器上都非常有實(shí)力，我們公司只🐚🏦能硬著頭皮不停地投入研發(fā)進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，盡可能快的搶占手機(jī)相機(jī)模塊整個(gè)市場(chǎng)?！?br/>
楊杰說(shuō)道：“今后我們公司在圖像傳感器的研發(fā)方向主要是分為幾個(gè)方向，第一個(gè)🏀就是在🐏👌🏴單像素尺寸的工藝上想🎎🆙辦法，盡力地縮小單個(gè)像素的尺寸，在同樣尺寸下，讓分辨率可以做得更大，現(xiàn)在我們已經(jīng)能把單個(gè)像素尺寸做到2.5微米，今年會(huì)推出一百萬(wàn)像素的拍照手機(jī)。”
“第二個(gè)就是🤲🦂👴圖像傳感器的低照度，我希望我們公司生產(chǎn)的圖像傳感器以后低照度拍攝水平在不斷地提升，達(dá)到甚至超越了CCD的低照度拍攝水平，這樣以后手機(jī)相機(jī)可以在弱光環(huán)境下也能拍出很好照片出來(lái)?！?br/>
“另外就是圖像傳感器要具備拍攝高清視頻的需要，能夠達(dá)到每秒三十幀甚至每秒六十幀的視頻播放視覺(jué)需求，更高的幀速需要圖像傳感器🚬🌞和高速讀出電路的支持，這也是我們需要不斷改進(jìn)的地😷🏢🙂方。”
“還有就是在圖像傳感器靈敏度和信噪比方面也需要不😜🐰斷地改進(jìn)，🕍🍶因?yàn)樗麄儧Q定了畫(huà)質(zhì)。”